特許

J-GLOBAL ID：200903049571388779

ウェーハ検査装置

発明者： 小田 健史
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195850
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028538
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 検査試料の裏面へのダスト付着を抑え、表面及び裏面の検査を同条件で安定して行う【解決手段】 検査試料に照明光を投光し、その反射光により検査試料の外観検査を行う試料検査装置において、検査試料の外周部を保持する試料保持手段を備え、検査試料の略中心を横切るように設けられた第1軸線を持ち第1軸線の軸回りに試料保持手段を回転し、検査試料の略中心を横切るように設けられた第2軸線を持ち第2軸線の軸回りに試料保持手段を回転する。

請求項（抜粋）：

検査試料に照明光を投光し、その反射光により検査試料の外観検査を行う試料検査装置において、前記検査試料の外周部を保持する試料保持手段と、該試料保持手段に保持される検査試料の略中心を横切るように設けられた第1軸線を持ち該第1軸線の軸回りに試料保持手段を回転する第1回転手段と、検査試料の略中心を横切るように設けられた第2軸線を持ち該第2軸線の軸回りに前記試料保持手段を回転する第2回転手段と、を備えることを特徴とする試料検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J

Fターム (15件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AC11 ,  2G051AC22 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  4M106BA04 ,  4M106BA11 ,  4M106CA38 ,  4M106DG19 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄板傾動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040432   出願人：東芝セラミックス株式会社