特許
J-GLOBAL ID：200903049597425664
低温試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-139411
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298225
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 出荷時点で所定の低温下でメインチャック近傍の露点を測定し、結露しないことを確認しているが、ユーザー側に装置を引き渡した後はその低温試験性能をチェックしていないため、低温試験を実施する際に装置本体内の空気の露点が引き渡し時に設定した露点から変動し、上昇メインチャックや被試験体に空気中の水分が結露し、着霜することがあるので、このような結露や着霜を未然に防止する。【解決手段】 本プローブ装置1は、装置本体14内のメインチャック9を所定の設定温度に冷却すると共に装置本体14内に冷却空気を供給し、メインチャック9上に載置された半導体ウエハWを所定の低温(例えば-10°C)下で電気的試験を行う場合、装置本体14内の乾燥空気の露点を監視する露点監視装置23を設けると共に、この露点監視装置23を介して乾燥空気の流量及びメインチャック9の温度を制御し、メインチャック9での結露を防止する。
請求項（抜粋）：
装置本体内の載置台を所定の設定温度に冷却すると共に上記装置本体内に低露点の空気を供給し、上記載置台上に載置された被試験体を所定の低温下で電気的試験を行う低温試験装置において、上記装置本体内の空気の露点を監視する露点監視装置を設けると共に、この露点監視装置を介して上記低露点の空気の供給流量及び上記載置台の温度を制御し、上記載置台での結露を防止することを特徴とする低温試験装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 H
, H01L 21/66 B
, G01R 31/26 H
