試料ホルダ支持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268758
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】大気圧(背圧)によって試料ホルダが、前記試料ホルダの内端部を位置決めするホルダ内端部位置決め駆動機構に加える圧力を軽減すること。【解決手段】円筒壁24の外端部に軸方向に沿って形成されて試料ホルダHのガイドピンH4が突出するスライダ収容溝24cを有するホルダ支持部材23と、前記試料ホルダの試料保持部に当接して前記試料保持部を前記軸方向に移動させて位置決めするホルダ内端位置決め駆動機構と、前記スライダ収容溝24cに収容されて、前記ガイドピンH4と係合するピン係合部51bと移動制限用被係止部51cとを有するスライダ51と、前記移動制限用被係止部51cに内端方向から係止するスライダ係止部59bが設けられたスライダ係止部材59と、前記スライダ51の前記内端方向の移動を制限するように前記スライダ係止部材59を付勢するバネ63,63とから構成される試料ホルダ支持装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件(A01)〜(A07)を備えたことを特徴とする試料ホルダ支持装置、(A01)内部が真空に保持された電子顕微鏡の外壁、(A02)前記外壁に支持された球面軸受により内端部が回動可能に支持された円筒壁と、前記円筒壁の内側に形成され且つ前記外壁の内外を連通させるホルダ装着孔と、前記円筒壁の外端部に軸方向に沿って形成されたスライダ収容溝とを有するホルダ装着部材、(A03)試料を保持する試料保持部が設けられた内端部が前記外壁の内側に配置されるとともに、前記外壁の外側に配置された外端部の外側面に前記スライダ収容溝内に突出するガイドピンが設けられた試料ホルダを、スライド可能且つ気密に保持する前記ホルダ装着孔、(A04)前記試料ホルダの試料保持部に当接して、前記試料保持部を前記軸方向に位置決めするホルダ内端位置決め駆動機構、(A05)前記スライダ収容溝に前記軸方向に移動可能に収容されて、前記試料ホルダのガイドピンと係合するピン係合部が設けられるとともに、前記円筒壁の外側に突出するように形成された移動制限用被係止部を有するスライダ、(A06)前記スライダの移動制限用被係止部に前記ホルダ装着部材の内端方向から係止するスライダ係止部が設けられたスライダ係止部材、(A07)前記スライダの前記内端方向の移動を制限するように前記スライダ係止部材を付勢するバネ。

Fターム (3件)：

5C001AA01 , 5C001AA08 , 5C001CC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

試料ホルダ支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-096694 出願人：日本電子株式会社

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