試料ホルダ支持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-096694
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293278
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】周囲の大気の変動によって試料ホルダが真空の試料室内に押し込まれる力を受けないようにすること。【構成】内部が真空に保持された壁部材Sに支持された球面軸受け9により回動可能に支持されるとともに前記壁部材Sを内外を連通させるホルダ貫通孔13aを有するホルダ支持部材13と、前記ホルダ貫通孔13aによりスライド可能且つ気密に保持されて、内端部の試料保持部H2が前記壁部材Sの内部に配置されるとともに外端部が前記壁部材Sの外側に配置された試料ホルダHと、前記試料ホルダHにスライド方向の力を作用させる作用力伝達部材(38b;44a)を、周囲の大気圧が上昇したときには前記壁部材Sの外方へ移動させる力を発生させるとともに周囲の大気圧が低下したときには前記壁部材Sの内方に移動させる力を発生させる気圧応動装置45とを備えたホルダ支持装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とする試料ホルダ支持装置、(Y01)内部が真空に保持された壁部材、(Y02)壁部材に支持された球面軸受により回動可能に支持されるとともに前記壁部材の内外を連通させるホルダ貫通孔を有するホルダ支持部材、(Y03)内端部の試料保持部が前記壁部材の内部に配置されるとともに外端部が前記壁部材の外側に配置された試料ホルダを、スライド可能且つ気密に保持する前記ホルダ貫通孔、(Y04)前記ホルダ支持部材に支持されて、前記試料ホルダに前記スライド方向の力を作用させる作用力伝達部材、(Y05)前記作用力伝達部材を、周囲の大気圧が上昇したときには前記壁部材の外方へ移動させる力を発生するとともに周囲の大気圧が低下したときには前記壁部材の内方に移動させる力を発生する気圧応動装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , G01N 1/00 101

FI (2件)：

H01J 37/20 C , G01N 1/00 101 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-158044
特開平3-147238
試料ホルダ保持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-005826 出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (3件)

特開平2-158044
特開平3-147238
試料ホルダ保持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-005826 出願人：日本電子株式会社

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