特許
J-GLOBAL ID:200903049626274034

浸炭方法及び浸炭装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 哲也 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-012434
公開番号(公開出願番号):特開2002-212702
出願日: 2001年01月19日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】 浸炭条件が通常とは異なる場合でも、通常の場合と同様の高品質の浸炭を再現性良く行うことが可能で、しかも経済的な浸炭方法及び浸炭装置を提供する。【解決手段】 浸炭期の圧力が13〜4000Paで、一酸化炭素の割合が30vol%以下である雰囲気ガス中で浸炭を行う浸炭装置を、被処理品4を収納する浸炭室3と、浸炭期の浸炭室3内の雰囲気ガス中の酸素濃度を測定する酸素センサー20と、酸素センサー20による測定結果に応じて浸炭室3内の雰囲気ガスの組成を調整するマスフローコントローラ5と、を備える構成とした。
請求項(抜粋):
13〜4000Paの圧力下、一酸化炭素の割合が30vol%以下である雰囲気ガス中で浸炭を行うに際して、浸炭時の前記雰囲気ガスの組成を分析し、その分析結果に応じて、温度,圧力,及び前記雰囲気ガスの組成のうち少なくとも一つを調整しながら浸炭を行うことを特徴とする浸炭方法。
IPC (3件):
C23C 8/20 ,  C21D 1/06 ,  C21D 1/773
FI (3件):
C23C 8/20 ,  C21D 1/06 A ,  C21D 1/773 J
Fターム (3件):
4K028AA01 ,  4K028AC07 ,  4K028AC08
引用特許:
審査官引用 (5件)
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