加工用助剤組成物及びこれを用いた表面加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽鳥修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169068
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015811
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】加工速度を向上させ得る加工用助剤組成物及び加工方法を提供すること。【解決手段】水と加工用助剤とを含有する本発明の加工用助剤組成物は、該加工用助剤として下記一般式(a)で表される骨格単位を主とする重量平均分子量500〜100万の重合体化合物を一種以上を用いることを特徴とする。【化1】

請求項（抜粋）：

水と加工用助剤とを含有する加工用助剤組成物において、該加工用助剤として下記一般式(a)で表される骨格単位を主とする重量平均分子量500〜100万の重合体化合物を一種以上を用いることを特徴とする加工用助剤組成物。【化1】

IPC (2件)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/00 H , H01L 21/304 321 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

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