量子効果原子剥離による試料作成方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136269
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329663
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】試料に大きなダメージを与えることなく薄片化が可能な試料作成方法及び装置を提供する。【解決手段】試料1は図示しない真空排気装置によって高真空に維持された真空室2内に水平に保持される。真空室2の上面には窓3が設けられている。また、真空室2内には、試料の上側表面と下側表面にイオンビームを照射してイオン研磨を行うためのイオン銃4が設けられている。ArFエキシマレーザー発振機5から水平方向に発生されたエキシマレーザー光6は、集光レンズ7を通過した後、ミラー8により下方に反射され、レンズ9、シャッター10、窓3を介して試料1の表面に照射される。

請求項（抜粋）：

真空中に配置された試料表面にレーザー光を照射することを特徴とする量子効果原子剥離による試料作成方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 , G01N 1/32 , H01J 37/20

FI (3件)：

G01N 1/28 G , G01N 1/32 B , H01J 37/20 Z

Fターム (3件)：

5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

試料作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-252897 出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (1件)

試料作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-252897 出願人：日本電信電話株式会社

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