特許
J-GLOBAL ID：200903049644038089

リニアモータ、ステージ装置及び露光装置

発明者：
是永 伸茂

是永 伸茂 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310052
公開番号（公開出願番号）：特開2003-116260
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】製作が容易な構造を有するリニアモータを提供する。【解決手段】固定子は、固定ヨーク103と、その外側に配置された固定コイル104を有し、可動子は、固定コイル104の外側に配置された可動磁石105を有する。固定ヨーク103、固定コイル104、可動磁石105は、4つの平面部をそれぞれ有し、断面が四角形形状である。
請求項（抜粋）：
固定子と可動子を有するリニアモータであって、前記固定子は、固定ヨークと、前記固定ヨークの外側に配置された固定コイルとを有し、前記可動子は、前記固定コイルの外側に配置された可動磁石を有し、前記固定ヨーク、前記固定コイル及び前記可動磁石は、複数の平面形状部分をそれぞれ有し、前記固定コイルの前記複数の平面形状部分は前記固定コイルの軸に並行しており、前記固定ヨークの各平面形状部は、それに対応する前記固定コイルの平面形状部分及び前記可動磁石の平面形状部分に対して並行していることを特徴とするリニアモータ。
IPC (7件)：
H02K 41/03 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H02K 1/06 ,  H02K 1/20 ,  H02K 9/19 ,  H02K 41/02
FI (7件)：
H02K 41/03 A ,  G12B 5/00 T ,  H02K 1/06 A ,  H02K 1/20 A ,  H02K 9/19 A ,  H02K 41/02 C ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (30件)：
2F078GA01 ,  2F078GA12 ,  2F078GB01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H002AB06 ,  5H002AD02 ,  5H002AD04 ,  5H609BB03 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP08 ,  5H609QQ08 ,  5H609QQ12 ,  5H609QQ14 ,  5H609QQ18 ,  5H609RR37 ,  5H609RR43 ,  5H641BB03 ,  5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG06 ,  5H641GG12 ,  5H641HH03 ,  5H641HH12 ,  5H641JA05 ,  5H641JB04
引用特許：
審査官引用 (8件)
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