導波路型光デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001962
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197836
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】マイクロ波損失をより改善し、広変調帯域および良好な反射特性を達成する。【解決手段】光導波路2が形成された結晶基板1上にはバッファ層3が形成され、さらにその上に、信号電極4と2つの接地電極5a,5bとからなる平面導波型電極構造が形成される。信号電極4は、アクティブ部4aと、マイクロ波信号を印加するためのコネクタ7に接続されるフィーダ部4bとを有する。フィーダ部4bは、幅Wpad が、アクティブ部4aの幅Wよりも広く、かつ、コネクタ7の幅Wconn以下となっている。

請求項（抜粋）：

光導波路が形成された基板と、前記基板上に形成されたバッファ層と、前記バッファ層上に形成された、接地電極および信号電極で構成される進行波電極構造とを有し、前記信号電極は、マイクロ波信号の印加により前記光導波路に電気光学効果を生じさせるアクティブ部と、前記マイクロ波信号を印加するためのコネクタと接続されるフィーダ部とを含み、前記フィーダ部の前記コネクタと接続される側の端の幅が、前記アクティブ部の幅よりも大きく、かつ、前記コネクタの幅以下である導波路型光デバイス。

引用特許：

審査官引用 (1件)

進行波型光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-230995 出願人：イビデン株式会社

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