特許

J-GLOBAL ID：200903049709464749

電子ビーム加速器の窓箔冷却方法および装置

発明者： 西村 達也
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267311
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171098
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 電子ビームの走行距離を増やすため、窓部短軸方向の長さが増大しても、窓箔の冷却が充分におこなえる窓箔の冷却方法および装置を提供する。【解決手段】 ダブルウィンドウの1次窓箔と、2次窓箔とを有する走査型電子ビーム加速器の電子ビーム8取り出し用の窓箔の冷却において、電子ビーム走査面にたいして両側より冷却風19を吹き付けて1次窓箔14,15を冷却し、窓箔の冷却風の流れを窓箔中央部で反転させた後、電子ビーム走査面にたいして両側より吸い込み循環させて、2次窓箔16も同時に冷却する。

請求項（抜粋）：

電子ビームの走査管と、該走査管の出口に取り付けられた電子ビーム取り出し用のダブルウィンドウを有する1次窓箔と、該1次窓箔の大気側に配置された2次窓箔とを有する走査型電子ビーム加速器の電子ビーム取り出し用の窓箔冷却方法において、電子ビーム走査面にたいして両側より冷却風を吹き付けて1次窓箔を冷却し、窓箔の冷却風の流れを窓箔中央部で反転させた後、電子ビーム走査面にたいして両側より吸い込み循環させて、2次窓箔も同時に冷却することを特徴とする窓箔冷却方法。

IPC (2件)：

G21K 5/00 ,  G21K 5/04

FI (2件)：

G21K 5/00 C ,  G21K 5/04 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-267702   出願人：日新ハイボルテージ株式会社