エッチング液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332767
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164585
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】各酸化膜を等速度でエッチングする組成物を提供する。【解決手段】熱酸化膜(THOX)及びボロンリンガラス膜(BPSG)のエッチングレートが25°Cで100Å/min以下、かつBPSGのエッチングレート/THOXのエッチングレートが1.5以下であるエッチング液。

請求項（抜粋）：

熱酸化膜(THOX)及びボロンリンガラス膜(BPSG)のエッチングレートが25°Cで100Å/min以下、かつBPSGのエッチングレート/THOXのエッチングレートが1.5以下であるエッチング液。

IPC (3件)：

H01L 21/308 , C09K 13/08 , C23F 1/16

FI (3件)：

H01L 21/308 E , C09K 13/08 , C23F 1/16

Fターム (11件)：

4K057WA10 , 4K057WA20 , 4K057WB06 , 4K057WB11 , 4K057WE07 , 4K057WE11 , 4K057WE21 , 4K057WE30 , 5F043AA32 , 5F043BB22 , 5F043DD30

引用特許：

審査官引用 (4件)

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