特許

J-GLOBAL ID：200903049822019417

光学検査装置および光学検査方法、並びにカラーフィルタの製造方法

発明者： 山田 栄二
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 原 謙三 ,  木島 隆一 ,  金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312673
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125936
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 カラーフィルタのムラを精度よく検査することができる光学検査装置を提供する。【解決手段】 カラーフィルタ16の透過光量変化または反射光量変化に敏感な波長帯域の光を透過する光学フィルタ12を用いて生成した検査画像と、透過光量変化または反射光量変化に鈍感な波長帯域の光を透過する光学フィルタ12を用いて生成した参照画像とに基づいて、カラーフィルタ16のムラを検査する検査手段を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

撮像手段と、 検査対象の透過光量変化または反射光量変化に敏感な波長帯域の光を透過する第1光学フィルタと、上記透過光量変化または反射光量変化に対して鈍感な波長帯域の光を透過する第2光学フィルタとを切り替える切り替え手段と、 検査対象の透過光量変化または反射光量変化に関し、上記第1光学フィルタを用いて上記撮像手段が撮像した検査画像と、上記第2光学フィルタを用いて上記撮像手段が撮像した参照画像とに基づいて、上記検査対象における透過光量または反射光量のムラを検査す る検査手段と、を備えることを特徴とする光学検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/958 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/133

FI (3件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 T ,  G02F1/1335 505

Fターム (19件)：

2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051AC21 ,  2G051BA04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051EA23 ,  2G051ED01 ,  2G051ED14 ,  2G086EE10 ,  2H091FA02Y ,  2H091FC29 ,  2H091FC30 ,  2H091FD04 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 周期性パターンのムラ検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-286120   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開平3-287053号公報(平成3(1991)年12月17日公開)