特許
J-GLOBAL ID:200903049826170780
1-3複合圧電振動子板およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三輪 鐵雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-197500
公開番号(公開出願番号):特開2001-025091
出願日: 1999年07月12日
公開日(公表日): 2001年01月26日
要約:
【要約】【課題】 超音波探触子を、高信頼性で、かつ低コストに作製することができる1-3複合圧電振動子板を提供する。【解決手段】 圧電セラミックスと高分子材とからなる1-3複合圧電体と、その上面および下面に形成された電極とからなる1-3複合圧電振動子板において、その電極をニッケル層で構成することにより、電極へのグランドリードフレームやシグナルリードフレームの半田による接合を可能にする。上記ニッケル層の厚みは1〜8μmであることが好ましい。また、上記電極としては、ニッケル層とそのニッケル層上に形成された銀、錫または錫-鉛合金の層とで構成することが好ましく、そのニッケル層の厚みは0.5〜4μm、銀、錫または錫-鉛合金の層の厚みは0.5〜5μm、ニッケル層の厚みと銀、錫または錫-鉛合金の層の厚みとの和は1〜8μmであることが好ましい。
請求項(抜粋):
圧電セラミックスと高分子材とからなる1-3複合圧電体と、その上面および下面に形成された電極とからなる1-3複合圧電振動子板において、上記電極がニッケル層で構成されていることを特徴とする1-3複合圧電振動子板。
IPC (4件):
H04R 17/00 330
, H04R 17/00 332
, H01L 41/08
, H01L 41/22
FI (4件):
H04R 17/00 330 H
, H04R 17/00 332 A
, H01L 41/08 H
, H01L 41/22 Z
Fターム (8件):
5D019AA17
, 5D019AA26
, 5D019BB02
, 5D019BB18
, 5D019BB28
, 5D019BB30
, 5D019FF05
, 5D019HH02
引用特許:
審査官引用 (3件)
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超音波プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-196226
出願人:株式会社東芝
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特開昭61-018476
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超音波変換器アレーとその製造方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平6-517111
出願人:パラレルデザイン,インコーポレイテッド
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