特許
J-GLOBAL ID：200903049845727435
ウェハ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175501
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029959
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【構成】ウェハ搬送装置の少なくとも当接面を単結晶アルミナで形成した。【効果】載置面を単結晶アルミナで形成してあるためボイドがなく、高純度であることから、ウェハに悪影響をおよぼすことなく搬送を行うことができる。しかも、硬度が高く、耐薬品性にも優れているために磨耗することがなく、フッ酸などの強酸で洗浄しても、長期にわたり使用することができる。
請求項（抜粋）：
ウェハを載置或いは真空吸着して移動させる搬送装置において、少なくともウェハと接触する当接面を純度が99.99%以上の単結晶アルミナで形成し、該当接面を中心線平均粗さ(Ra)で0.08μm以下の面としたことを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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