特許

J-GLOBAL ID：200903049894422291

水晶基板用載置台及び水晶基板の傷検査装置

発明者： 小林 了
出願人/特許権者： 株式会社日本マクシス
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227920
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064232
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】 水晶ブランクの載置時、水晶ブランクを載置台の定位置に容易に載置でき、ピックアップ時には載置台から容易に離脱できるようにする。【解決手段】 水晶ブランク1の傷検査は、水晶ブランク1に下方より拡散された斜光線を発光ダイオード6から照射し、水晶ブランク1の傷で反射された光を水晶ブランク1の真上の撮像手段11で検出する。搬送ロボットアーム15で載置台2に水晶ブランク1を搬入し、検査後、搬出する。載置台2の載置面3には、溝が多数形成されている。これにより、載置時は水晶ブランク1が載置台2上を滑ることがなくなり、載置後は載置台2に密着することもなくなる。

請求項（抜粋）：

搬送機構により搬入・搬出される水晶基板に対して所要の処理がなされる基板処理部において水晶基板を載置する載置台であって、上記載置台が透明部材からなり、かつ上記水晶基板を載置する平坦な載置面に溝,孔等の凹部が形成されていることを特徴とする水晶基板用載置台。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (2件)：

G01N 21/88 D ,  G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 透明基板の傷検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-102559   出願人：ジーフォース株式会社