特許

J-GLOBAL ID：200903049915906600

基板処理装置

発明者： 杉本 憲司 ,  松永 実信 ,  真田 雅和 ,  吉岡 勝司 ,  青木 薫 ,  矢野 守隆 ,  山本 聡 ,  三橋 毅 ,  長尾 隆 ,  児玉 光正
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-047944
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243690
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 占有面積を小さくした基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の基板処理装置は、基板に所定の処理を施す処理部と、この処理部との間で基板の受渡しを行うための基板搬送手段とを備えた、基板処理装置を構成するための単位ユニットとしての基板処理装置用ユニット(セル)を、多段に積み上げて構成している、例えば、セル12上にセル15Aを、セル13上にセル15Bを積み上げて構成しているので、基板処理装置の占有面積を小さくすることができ、基板処理装置の省フットプリント化が可能である。【選択図】 図12

請求項（抜粋）：

基板に一連の処理を施す基板処理装置であって、 前記基板処理装置を構成するための単位ユニットである基板処理装置用ユニットが、基板に所定の処理を施す処理部と、前記処理部との間で基板の受渡しを行うための基板搬送手段とを備え、前記基板処理装置用ユニットを多段に積み上げて基板処理装置を構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H01L21/027

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/30 562

Fターム (28件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031PA06 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046JA04 ,  5F046KA04 ,  5F046LA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置用ユニットおよび基板処理装置並びにその装置の組立方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-113364   出願人：大日本スクリーン製造株式会社