特許
J-GLOBAL ID:200903049933542631

ガス検出方法とその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩入 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-029079
公開番号(公開出願番号):特開2003-232760
出願日: 2002年02月06日
公開日(公表日): 2003年08月22日
要約:
【要約】【構成】 金属酸化物半導体ガスセンサをヒートクリーニングした後、所定時間でのセンサ抵抗の変化率から被毒を検出する。【効果】 ガスセンサの被毒を容易に検出できる。
請求項(抜粋):
ヒータを備えた金属酸化物半導体ガスセンサを加熱した後、安定状態へ移行する過程での、金属酸化物半導体の抵抗値の変化の程度を求め、該変化の程度が小さいことからガスセンサの被毒を検出する、ガス検出方法。
IPC (2件):
G01N 27/12 ,  G01N 27/04
FI (2件):
G01N 27/12 A ,  G01N 27/04 D
Fターム (52件):
2G046AA01 ,  2G046AA11 ,  2G046AA18 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BA02 ,  2G046BA09 ,  2G046BB01 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC01 ,  2G046BC03 ,  2G046BC07 ,  2G046BE02 ,  2G046BE03 ,  2G046DA04 ,  2G046DB02 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046DD01 ,  2G046DE01 ,  2G046EB01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE39 ,  2G060AA01 ,  2G060AB08 ,  2G060AB15 ,  2G060AB21 ,  2G060AB26 ,  2G060AE19 ,  2G060AE27 ,  2G060AF02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG01 ,  2G060AG05 ,  2G060BA01 ,  2G060BB02 ,  2G060BB09 ,  2G060HA01 ,  2G060HA08 ,  2G060HB02 ,  2G060HB06 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060HC21 ,  2G060HC22 ,  2G060HD01 ,  2G060HE02 ,  2G060KA01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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