特許
J-GLOBAL ID：200903049944157667

大型基板の露光装置

発明者：
長野 勝一

長野 勝一 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063543
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255659
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】露光工程の所要時間を短縮させて効率よく、且つ大型基板に対するパターン位置を精度良く製造する大型基板の露光装置を提供すること。【解決手段】搬入コンベア11a、搬出コンベア11b、温度調節ステージ12、第一ロボットR1、第二ロボットR2、及び、露光定盤14、アライメント機能付き基板受取部16a、露光部17、大型基板を載置し分割露光を行う移動ステージ15、基板受渡し部16bなどで構成される露光装置本体13、を具備し、大型基板の搬出動作と、移動ステージの元位置への移動動作が並行して行われること。
請求項（抜粋）：
分割露光による大型基板の露光装置において、1)露光する大型基板を搬送する搬入コンベア、及び露光した大型基板を搬送する搬出コンベア、2)大型基板を温度調節する温度調節ステージ、3)a)固定された露光定盤、b)該露光定盤の前部上方に位置し、大型基板を受取、アライメントを行うアライメント機能付き基板受取部、c)該露光定盤の中央部上方に位置し、大型基板へ分割露光する露光部、d)該露光定盤の前部にてアライメント後の大型基板を載置し、露光定盤の後部方向へ一定距離移動し停止し、分割されたフォトマスクを備えた該露光部による該大型基板への分割露光後、露光定盤の後部に移動し、大型基板を基板受渡し部へ排出し、露光定盤の前部の元位置に移動する移動ステージ、e)該露光定盤の後部上方に位置し、移動ステージからの大型基板を受渡す基板受渡し部、上記a)〜e)を少なくとも具備する露光装置本体、4)上記搬入コンベア上の大型基板を温度調節ステージに搬入し、該大型基板の温度調節後に該大型基板を搬出し、露光装置本体のアライメント付き基板受取部に搬入する第一ロボット、5)上記基板受渡し部の大型基板を搬出し、搬出コンベアに搬入する第二ロボット、を具備し、上記第二ロボットによる大型基板の搬出動作と、上記移動ステージの元位置への移動動作が並行して行われることを特徴とする大型基板の露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 514 D
Fターム (9件)：
2H097AA20 ,  2H097BA10 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097GA45 ,  2H097LA12 ,  5F046CC13 ,  5F046CD01 ,  5F046CD08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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