特許
J-GLOBAL ID：200903049959714244

圧電素子を用いたアクチュエータ及びこのアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機構

発明者：
小金沢 新治

小金沢 新治 について

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山田 朋良

山田 朋良 について

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植松 幸弘

植松 幸弘 について

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中野 寿

中野 寿 について

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井上 淳一

井上 淳一 について

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鈴木 徹也

鈴木 徹也 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について

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富士電気化学株式会社

富士電気化学株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185385
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031368
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単、かつ寸法精度が不要であると共に、位置決め精度の高い安価な剪断型アクチュエータを提供する。【解決手段】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータを、アクチュエータのベースとなる固定部材20と、この固定部材40上に配置された剪断型圧電素子からなる駆動部材30と、この駆動部材30上に配置された可動部材40とから構成し、駆動部材30は、素子の厚さ方向と垂直に分極された圧電素子31が、分極方向を逆向きに交互に複数積層されており、各層の間には導体層32が設けられ、複数の圧電素子31の厚さ方向にそれぞれ電圧を印加することにより、固定部材20に対して可動部材40を並進駆動するようにして構成する。
請求項（抜粋）：
ベースとなる固定部材と、この固定部材上に配置された圧電素子からなる駆動部材と、この駆動部材上に配置された可動部材とを備え、前記圧電素子の前記固定部材側の面と前記可動部材側の面との間に印加される電圧によって動作する、圧電素子を用いたアクチュエータであって、前記圧電素子には、素子の厚さ方向に直交する方向に分極され、素子の厚さ方向の両面に設けられた電極間に電圧を与えることによって素子が剪断変形するものが使用され、前記駆動部材は、前記圧電素子がその分極方向を交互に逆向きにされ、隣接する前記圧電素子間には共通電極が挟まれて複数個積層されて構成され、前記複数の圧電素子の各電極間にそれぞれ電圧が印加されることにより、前記固定部材に対して前記可動部材が並進駆動されるように構成されたことを特徴とする圧電素子を用いたアクチュエータ。
IPC (2件)：
G11B 21/10 ,  G11B 5/58
FI (2件)：
G11B 21/10 N ,  G11B 5/58
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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