トンネル効果式加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085826
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324072
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】簡単に製造可能なトンネル効果式加速度センサを提供する。【構成】シリコン基板1の上に導電性にドープされたポリシリコンから成る梁2が曲がり得るように支えられており、シリコン基板1の上にこの梁2の下に梁のほうに向けられて導電性にドープされたポリシリコンから成る突起3が、この突起3と梁2との間にトンネル効果が生ずるように密に梁2に隣接して配置されており、その際に梁2に作用する慣性力の静電的補償のための電極4が設けられている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板(1)の上に導電性にドープされたポリシリコンから成る梁(2)が曲がり得るように支えられており、シリコン基板(1)の上にこの梁(2)の下に梁(2)のほうに向けられて導電性にドープされたポリシリコンから成る突起(3)が、この突起(3)と梁(2)との間にトンネル効果が生ずるように密に梁(2)に隣接して配置されており、その際に梁(2)に作用する慣性力の静電的補償のための電極(4)が設けられていることを特徴とするトンネル効果式加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/08 , H01L 29/88

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-192370
捩じりアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-139528 出願人：ロックウエルインターナショナルコーポレイション
特開昭59-044875

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