特許
J-GLOBAL ID：200903049966133524

吸着保持装置

発明者：
鎌田 祐子

鎌田 祐子 について


出願人/特許権者：
トヨタ自動車株式会社

トヨタ自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-141223
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319182
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】ワークを真空吸着して保持する装置であって、ワークを吸引していない吸引孔を自動的に閉塞し、ワークと吸着口との気密を確保してより高い吸引力を発生させる。【解決手段】吸着保持装置10の吸着ステージ12に設けた吸引孔12aに吸気バルブ15を備えた。吸気バルブ15は、真空室12cに連通する弁室32を内部に形成するとともに、該弁室32に連通する吸着口38をワーク吸着側端面に開口するピストン30と、該ピストン30をその一部がワーク吸着側端部より突出した状態で摺動可能に内挿するシリンダ20と、弁室32に形成された弁座31に離接可能であって、弁座31に着座した状態で少なくともその一部が吸着口38よりワーク吸着側へ突出する球体45と、球体45を弁座31に着座する方向へ付勢する付勢バネ40とで構成した。吸着口38を設けたピストン30の端面において、該吸着口38の周囲にOリング42を備えた。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ステージに、真空室と、該真空室に連通されるとともにステージ面に開口する吸引孔とを設けた吸着保持装置において、 前記吸引孔に、該吸引孔を開閉する閉方向に付勢された弁体を備えた吸気バルブを設け、 前記ステージ上に載置されたワークが弁体に当接することにより、該弁体が付勢力に抗して開くように構成する ことを特徴とする吸着保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  B23Q 3/08 ,  H05K 13/04
FI (3件)：
H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A ,  H05K13/04 Q
Fターム (13件)：
3C016DA02 ,  5E313AA11 ,  5E313CC03 ,  5E313CC07 ,  5E313FF12 ,  5F031CA04 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031MA35 ,  5F031PA14 ,  5F031PA16 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭64-13133号公報
  • 鋼球移動式吸着ステージ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-263239   出願人：株式会社リコー

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