化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鐘尾宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-300457
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107707
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】高感度、高解像度を有する化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物において、疎なパターンと密なパターンが混在する回路パターンにおけるレジストの疎密パターンの解像線幅の差を減少させる。【解決手段】酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂と放射線の照射により酸を発生する化合物からなる化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物において、酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂として、該酸解離性保護基を解離させるための活性化エネルギー(ΔE)が25Kcal/mol以上である樹脂を用い、且つ放射線の照射により酸を発生する化合物として、放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物と放射線の照射によりスルホン酸を発生する化合物の混合物を用いる。

請求項（抜粋）：

(A)酸解離性保護基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性保護基が解離したときにアルカリ可溶性となり、その解離させるための活性化エネルギー(ΔE)が25Kcal/mol以上である樹脂、(B)放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物および(C)放射線の照射によりスルホン酸を発生する化合物を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (15件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB17 , 2H025CB41

引用特許：

審査官引用 (1件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229160 出願人：ジェイエスアール株式会社

前のページに戻る