特許
J-GLOBAL ID：200903061716654715
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229160
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125907
出願日： 1998年08月13日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 解像度およびパターン形状に優れるとともに、特に「ナノエッジラフネス」あるいは「膜面荒れ」を生じることがないポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)(イ)酸解離性基含有樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤、および(B)「放射線の照射により、沸点が150°C以上のカルボン酸を発生する化合物」と、「放射線の照射により、カルボン酸以外の酸を発生する化合物」との組み合せからなる感放射線性酸発生剤を含有する。ネガ型感放射線性樹脂組成物は、(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)架橋剤および前記(B)成分を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤、および(B)2種以上の化合物からなる感放射線性酸発生剤を含有し、前記(B)成分を構成する化合物の少なくとも1種が「放射線の照射により、常圧における沸点が150°C以上のカルボン酸を発生する化合物」からなり、かつ前記(B)成分を構成する化合物の少なくとも1種が「放射線の照射により、カルボン酸以外の酸を発生する化合物」からなることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/038 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/038 601
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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