特許
J-GLOBAL ID：200903050026430600
荷電粒子線投影系における偏向収差補正
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244195
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【解決課題】 荷電粒子線投影露光機では軸上での収差以外に、軸外のパターンを投影するとメインフィールド位置ズレ、メインフィールド位置に依存する収差がある。これを補正するために偏向器、焦点補正器からなる補正系が考えられるが、最適化された分解能、サブフィールド形状再現性が低下したり、偏向収差の補正が十分でなかったり、また補正器の位置に厳しい制限があり、装置構成が困難であった。【解決手段】 3つの非点収差補正器と3つの焦点補正器を用い、それらをメインフィールド位置に応じて駆動することにより分解能とサブフィールド再現性を確保しながら、偏向収差を解消でき、さらに補正器の設置位置の制限が厳しくない荷電粒子線装置、およびその操作方補が得られる。
請求項（抜粋）：
分解能とサブフィールド形状の忠実再現性が調整された荷電粒子線投影装置の操作方法であって、所定のそれぞれの位置に荷電粒子線を偏向し、3つの動的焦点補正器と3つの非点収差補正器を使用して前記最適化された分解能とサブフィールド形状の忠実性を維持しながら偏向歪みを補正することを特徴とする操作方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, H01J 37/153
G03F 7/20 504
, H01J 37/153 Z
, H01L 21/30 541 D
