特許

J-GLOBAL ID：200903050045496310

発光素子

発明者： 門田 道雄 ,  皆方 誠
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045311
公開番号（公開出願番号）：特開2000-244015
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 ZnOによる励起子発光を利用して電気エネルギーを青〜紫外線の光に変換することができる発光素子を提供する。【解決手段】 サファイア基板2の上に低抵抗のZnO層3を形成し、ZnO層3の上にZnO発光部4をエピタキシャル成長させる。ついで、ZnO発光部4の一部をエッチングして低抵抗のZnO層3を露出させ、この露出部分に下部電極5を設けると共にZnO発光部4の上面に上部電極6を設ける。

請求項（抜粋）：

サファイア基板上に低抵抗のZnO膜を形成し、当該ZnO膜上にZnO系の励起子発光部を設けたことを特徴とする発光素子。

Fターム (7件)：

5F041AA11 ,  5F041CA02 ,  5F041CA41 ,  5F041CA46 ,  5F041CA49 ,  5F041CA57 ,  5F041CA74

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-199886
  
• 光半導体素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-068978   出願人：科学技術振興事業団
• 特開昭61-218130