特許
J-GLOBAL ID:200903050050954660
ラツピングシート又はテープ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 靖彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-354182
公開番号(公開出願番号):特開平5-138542
出願日: 1991年11月19日
公開日(公表日): 1993年06月01日
要約:
【要約】【目的】 超高精度の加工面が得られるラッピングシート又はテープを提供することにある。【構成】 シート状又はテープ状の基材の少くとも一表面に、平均粒径が100オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド超々微粒子が分散して含まれた被膜を形成したことにある。
請求項(抜粋):
シート状又はテープ状の基材の少くとも一表面に、平均粒径が100オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド超々微粒子が分散して含まれた被膜を形成したことを特徴とするラッピングシート又はテープ。
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