特許
J-GLOBAL ID：200903050072820439
多層被覆基板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292780
公開番号（公開出願番号）：特開平11-123791
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 表面の凹凸形状が緻密であり、かつ耐熱性と一体性とが高い多層被覆基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に積層される各層を、個別にゲル状にまで予め仮成形し、このゲルを基板上に積層し本成形する。いわゆるゾルゲル法により多層被覆基板を製造する。各層を仮成形させる型は、多層被覆基板の使用目的により様々な表面形状を持つ。各層を一定の形状に仮成形しておくことにより、本成形での各層のクラックの発生を効果的に防止することができる。本成形においては、基板とその上に積層される複数の層とを型で押圧しながら加熱する。したがって、押圧する型の表面形状が転写された多層被覆基板が得られる。
請求項（抜粋）：
オルガノポリシロキサンを含む複数の層が積層し一体化したものであり、その最外層が複数の凸部を具えた基板において、これら凸部の高さのばらつきが、1μm以下である多層被覆基板。
IPC (6件)：
B32B 27/00 101
, G11B 7/24 526
, G11B 7/24 531
, G11B 7/24
, G11B 7/26 521
, H01L 33/00
B32B 27/00 101
, G11B 7/24 526 N
, G11B 7/24 531 C
, G11B 7/24 531 Z
, G11B 7/26 521
, H01L 33/00 M
