特許
J-GLOBAL ID:200903050089599337

金属窒化物含有粉末の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田村 巌
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-284585
公開番号(公開出願番号):特開2001-106525
出願日: 1999年10月05日
公開日(公表日): 2001年04月17日
要約:
【要約】【課題】 金属酸化物粉末を原料に用い、連続且つ安定的に各種の微細な金属窒化物含有粉末を提供する。【解決手段】 周期律表IVA族、VA族又はVIA族金属酸化物粉末を、窒素ガス及びアンモニアガスを含む気相中に浮遊させ、800〜1800°Cに加熱することを特徴とする金属窒化物含有粉末の製造方法。
請求項(抜粋):
【請求項1】【請求項2】 金属酸化物粉末は二酸化チタン粉末又は二酸化ジルコン粉末である請求項1の製造方法。【請求項3】 加熱は1000〜1600°Cで行う請求項1の製造方法。【請求項4】 金属酸化物粉末を浮遊させる気相に更に有機ガスを存在させる請求項1〜3の製造方法。【請求項5】 供給部と加熱部と捕集部とを繋いで形成された一連の移送配管系を構成し、該供給部から金属酸化物粉末を気相により前記捕集部に向けて移送する工程、供給部、加熱部又は供給部から加熱部までの間に気相中に窒素ガス、アンモニアガス及び必要に応じて添加される有機ガスを導入する工程、気相中を移送される金属酸化物粉末を加熱部において所定温度まで加熱する工程、を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかの金属窒化物含有粉末の製造方法。【請求項6】 有機ガスは炭化水素ガスである請求項1〜5のいずれかの製造方法。【請求項7】 得られる金属窒化物含有粉末の平均粒子径が10nm〜1μmである請求項1〜6のいずれかの製造方法。
IPC (3件):
C01G 1/00 ,  C01B 21/076 ,  C01G 25/00
FI (3件):
C01G 1/00 B ,  C01B 21/076 G ,  C01G 25/00
Fターム (7件):
4G048AA01 ,  4G048AB01 ,  4G048AB05 ,  4G048AD04 ,  4G048AE05 ,  4G048AE07 ,  4G048AE08
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 粉体と気体とを接触させる化学反応装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-039206   出願人:三菱マテリアル株式会社
  • 特開昭60-060924
  • 特開昭63-297205
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