特許

J-GLOBAL ID：200903050132526691

透明ガスバリアフィルムの製造装置及びその製造方法

発明者： 伊関 清司 ,  横山 誠一郎 ,  大嶋 司 ,  窪田 隆弘 ,  藤田 浩
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-219910
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219958
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 効率よく透明ガスバリアフィルムの膜厚が測定でき、更に均一な膜厚組成を有する透明バリアフィルムの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する際に、形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚、あるいは膜厚及び組成を測定する位置の間隔が、プラスチックフィルムの幅方向に100mm以上500mm以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔が250mm以上であることを特徴とする透明ガスバリアフィルムの製造装置。更に、該装置を用いて、蒸発分布特性より計算される膜厚および組成分布関数を測定点に一致するようにして、測定位置間の膜厚組成を推定しながら製造することを特徴とする透明ガスバリアフィルムの製造方法。

請求項（抜粋）：

蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する際に、形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚、あるいは膜厚及び組成を測定する位置の間隔が、プラスチックフィルムの幅方向に100mm以上500mm以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔が250mm以上であることを特徴とする透明ガスバリアフィルムの製造装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/56

FI (3件)：

C23C 14/24 U ,  C08J 7/04 P ,  C23C 14/56 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 透明ガスバリヤフィルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-276074   出願人：三菱化成株式会社
• ガスバリアフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-327439   出願人：東洋紡績株式会社
• 薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-277601   出願人：株式会社シンクロン
• 特開平4-354872