特許
J-GLOBAL ID：200903050219640504
表面形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-106831
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289619
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 通常の室内環境で0.1μm以下の測定精度を実現する表面形状測定方法を提供する。【解決手段】 熱膨張による高さの変位量が測定対象物1と同一のリファレンス点6を設け、各走査線の測定開始時および測定終了時にリファレンス点の高さ座標を測定して、走査線上の実測点ごとに仮想基準高さを設定し、各実測点において実測値から仮想基準高さを差し引くことにより測定対象物の表面形状を算出する。
請求項（抜粋）：
対物レンズの中心部以外の外周部に細いレーザービームを通過させて0.1μm以下の分解能で高さ座標の位置決めをするオートフォーカス機構と、測定対象物を載置するステージと、をXY方向へ相対的に移動させることで、非接触で測定対象物を走査して表面形状を測定する表面形状測定方法において、熱膨張による高さの変位量が測定対象物と同一のリファレンス点を設け、各走査線の測定開始時および測定終了時にリファレンス点の高さ座標を測定して、走査線上の実測点ごとに仮想基準高さを設定し、各実測点において実測値から仮想基準高さを差し引くことにより測定対象物の表面形状を算出することを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 B
, G01B 11/24 A
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB18
, 2F065DD03
, 2F065EE02
, 2F065FF10
, 2F065FF61
, 2F065FF67
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ09
, 2F065JJ16
, 2F065LL04
, 2F065MM03
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
