特許

J-GLOBAL ID：200903050233666311

プラズマ発生装置およびそれを用いたイオン源

発明者： 前野 修一 ,  安東 靖典 ,  松田 恭博
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047297
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229000
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 大型化の原因になる電子発生室を設けずに、小型の手段によって種プラズマを発生させるようにし、それによって装置全体の小型化を可能にすると共に、大面積化をも容易にする。【解決手段】 プラズマ生成容器4内に位置する中心導体22内に、カスプ磁場を形成する複数の永久磁石40を設ける。この永久磁石40の近傍に、マイクロ波放電によって種プラズマ44が作られる。直流電源56から、外部導体24とプラズマ生成容器4間に直流電圧が印加される。これによって、種プラズマ44中の電子46はプラズマ生成容器内壁に向けて加速されてガス16を電離し、これが種となって外部導体24とプラズマ生成容器4間でアーク放電が生じて主プラズマ48が生成される。プラズマ生成容器4の開口部12に引出し電極60を設けることによって、主プラズマ48からイオンビーム64を引き出す。

請求項（抜粋）：

ガスが導入されるプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器内にそれとは絶縁して挿入されていて、挿入された部分に永久磁石を有し、かつ外部から高周波が供給され、当該永久磁石が作る磁場中の高周波放電によって前記ガスを電離させて当該永久磁石の近傍に種プラズマを発生させる高周波線路と、この高周波線路と前記プラズマ生成容器との間に前者を負極側にして直流電圧を印加して、前記種プラズマ中の電子を前記プラズマ生成容器に向けて加速して、この電子を用いて前記高周波線路と前記プラズマ生成容器との間に直流放電を生じさせて前記プラズマ生成容器内に主プラズマを発生させる直流電源とを備えることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (8件)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01J 27/16 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265

FI (8件)：

H05H 1/46 B ,  C23C 14/46 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01J 27/16 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

• イオン源用マイクロ波アンテナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148228   出願人：日新電機株式会社