特許

J-GLOBAL ID：200903050244426070

多段多重磁極子レンズ系及びそれを用いた電子エネルギー分析器

発明者： 田谷 俊陸 ,  上田 和浩 ,  砂子沢 成人 ,  岩木 正哉 ,  新野 俊樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  理化学研究所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131745
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312988
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡用のエネルギーアナライザーに用いる多段多重磁極子レンズ系及びそれを用いた電子エネルギー分析器において、複数の軸対称レンズ系の中心軸を、ビームの軌道に合わせる調整をできるだけ簡便にする。【解決手段】多段多重磁極子レンズ系及びそれを用いた電子エネルギー分析器において、直線状に並ぶ多重磁極子の磁路を共通にして、機械加工精度と組み立て精度を高め、ビームの軸にレンズ系の直線中心軸を合わせる機構を設ける。

請求項（抜粋）：

多段の多重磁極子レンズを直線状に組み合わせて荷電粒子ビームの収束特性を向上するレンズ系において、上記の多段のレンズの磁路(ヨーク)が1体で共用する構造を有することを特徴とする多段多重極子レンズ系。

IPC (2件)：

H01J 37/14 ,  H01J 49/44

FI (2件)：

H01J 37/14 ,  H01J 49/44

Fターム (1件)：

5C038KK22

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-244547
  
• 並行検出型エネルギー損失分析器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-254684   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭48-104459
  
• 特開平1-258354
  
• 特開昭60-010721