特許

J-GLOBAL ID：200903050248059446

基板ホルダー及び合体構造マスク

発明者： 中根 直広
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-165453
公開番号（公開出願番号）：特開2007-335218
出願日： 2006年06月15日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】基板の自重撓みを少なくして、蒸着マスクと基板とのアライメント精度を向上させる。【解決手段】蒸着パターンに対応した画素開口部7aを有する複数の蒸着マスク7に対して、蒸着対象となる基板3を保持するための基板ホルダー2を対向配置する。基板ホルダー2は、枠体2aと、該枠体2aを構成する枠辺から枠内に向かって突出した桟2bとを備える。桟2bは、各蒸着マスク7からの蒸着物が通過しない位置に設けられている。枠体2aを構成する枠辺と桟2bとにより枠内を区画して、蒸着物を基板3へ到達させるための開口部2cを形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸着パターンに対応した開口配列群を有する複数の蒸着マスクに対向配置して、蒸着対象となる基板を保持するための基板ホルダーであって、 前記基板ホルダーは、枠体と、該枠体を構成する枠辺から枠内に向かって突出した桟とを備え、 前記桟は、前記各蒸着マスクからの蒸着物が通過しない位置に設けられており、 前記枠体を構成する枠辺と前記桟とにより枠内を区画して、蒸着物を基板へ到達させるための開口部を形成したことを特徴とする基板ホルダー。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A

Fターム (12件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG33 ,  3K107GG54 ,  4K029AA24 ,  4K029EA08 ,  4K029HA03 ,  4K029JA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 統合マスク、ならびに統合マスクを用いた有機EL素子の製造方法およびその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-022982   出願人：東レ株式会社