特許

J-GLOBAL ID：200903056975538746

統合マスク、ならびに統合マスクを用いた有機EL素子の製造方法およびその製造装置

発明者： 北村 義之 ,  金森 浩充 ,  藤森 茂雄
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022982
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305080
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】1枚の基板に多数個の有機EL素子を精度よく蒸着により形成できるように多数個の小蒸着マスクを配列した蒸着用マスクの具体的構成と、それを用いた有機EL素子の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】蒸着パターンに対応した蒸着用開口配列群をもつ複数の蒸着マスクが、複数の開口部を有するベース板に、各蒸着マスクの前記蒸着用開口配列群が前記開口部の上側に位置するように配置されており、かつ前記蒸着マスクは前記ベース板に任意に固定・開放自由な係合手段によって固定されているとともに、前記蒸着マスクを前記ベース板に位置決めするための基準アライメントマークを前記ベース板上に有することを特徴とする統合マスク。

請求項（抜粋）：

蒸着パターンに対応した蒸着用開口配列群をもつ複数の蒸着マスクが、複数の開口部を有するベース板に、各蒸着マスクの前記蒸着用開口配列群が前記開口部の上側に位置するように配置されており、かつ前記蒸着マスクは前記ベース板に任意に固定・開放自由な係合手段によって固定されているとともに、前記蒸着マスクを前記ベース板に位置決めするための基準アライメントマークを前記ベース板上に有することを特徴とする統合マスク。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 有機膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-371502   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 真空成膜装置、そのマスク着脱装置、及びマスク位置合わせ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-343645   出願人：アネルバ株式会社
• 成膜用メタルマスク及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-076833   出願人：キヤノン株式会社
• 多面取り用メタルマスク及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-048173   出願人：東北パイオニア株式会社