特許

J-GLOBAL ID：200903050276077727

圧電体の分極処理方法

発明者： 友廣 宏 ,  藤井 直樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-242103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127356
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】気中において所望の分極度を短時間で得ることができ、かつ分極度バラツキを低減できる圧電体の分極処理方法を提供する。【解決手段】気中であって、かつエージング温度以上の温度雰囲気中で、圧電体に直流電圧を印加して分極処理した後、上記エージング温度でエージングを行なう。圧電体の分極処理を行いながら、その周波数特性から分極度を測定し、測定された分極度が設定レベルに達した時に直流電圧の印加を停止する。設定レベルは、直流電圧の印加を停止する直前の分極度と、印加停止後エージングして常温に戻した後の分極度の安定値との間の相関関係によって求める。

請求項（抜粋）：

気中であって、かつエージング温度以上の温度雰囲気中で、圧電体に直流電圧を印加して分極処理を行なう工程と、圧電体の分極処理を行いながら、その分極度を測定する工程と、測定された分極度が設定レベルに達した時に直流電圧の印加を停止する工程と、電圧印加の停止後、上記エージング温度でエージングを行なう工程と、を有することを特徴とする圧電体の分極処理方法。

IPC (2件)：

H01L 41/22 ,  H03H 3/02

FI (2件)：

H03H 3/02 B ,  H01L 41/22 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• PZT系圧電素子の分極方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-237404   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 特開昭64-012587