感光性シート、感光性積層体、画像パターン形成方法、および配線パターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-231007
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208565
出願日： 2004年08月06日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】画像内に厚みが異なる所望のパターンを容易に形成することができる感光性シートおよび感光性積層体を提供する。【解決手段】支持体、第一感光層、そして第二感光層をこの順で有し、第一感光層および第二感光層が、それぞれ独立に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性シートにおいて、第二感光層の光感度が第一感光層の光感度よりも高くなるように感度を調節し、第一感光層と第二感光層との間にバリアー層を設ける。感光性積層体は、基体上に、上記第二感光層、上記バリアー層、上記第一感光層の順序で積層する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体、第一感光層、バリアー層、そして第二感光層をこの順で有し、第一感光層および第二感光層が、それぞれ独立に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み、第二感光層の光感度が第一感光層の光感度よりも高い感光性シート。

IPC (4件)：

G03F7/004 , G03F7/095 , H05K3/00 , H05K3/06

FI (6件)：

G03F7/004 512 , G03F7/095 , H05K3/00 F , H05K3/00 G , H05K3/06 J , H05K3/06 L

Fターム (44件)：

2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025CA01 , 2H025CA14 , 2H025CA18 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CA30 , 2H025CA48 , 2H025CA50 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB52 , 2H025DA14 , 2H025EA08 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 5E339AB02 , 5E339AC01 , 5E339BC01 , 5E339BD02 , 5E339BD08 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339CE04 , 5E339CE11 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF01 , 5E339CF06 , 5E339CF16 , 5E339CG01 , 5E339DD03 , 5E339GG01

引用特許：

出願人引用 (5件)

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-302872 出願人：日立化成工業株式会社
エッチングレジストシートおよびプリント配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-212102 出願人：東亞合成株式会社
新規な感光性樹脂積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-207375 出願人：旭化成工業株式会社

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