特許
J-GLOBAL ID:200903050301468515
液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-369531
公開番号(公開出願番号):特開2003-170582
出願日: 2001年12月04日
公開日(公表日): 2003年06月17日
要約:
【要約】【課題】 低コストで高吐出効率が得られない。【解決手段】 振動板10には絶縁性薄膜である窒化シリコン膜10Aで形成し、振動板10の表面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる複数の電極14を設け、電極14、14間に静電力を発生させることによって振動板10を変形させる。
請求項(抜粋):
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は絶縁性薄膜であり、この振動板の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも2つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (5件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, B81B 3/00
, H02N 1/00
FI (4件):
B81B 3/00
, H02N 1/00
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
Fターム (12件):
2C057AF54
, 2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 2C057BA15
引用特許:
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