特許
J-GLOBAL ID:200903050371836171
含フッ素アクリレート誘導体とその製造法、およびそれを用いた高分子化合物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-226582
公開番号(公開出願番号):特開2003-040926
出願日: 2001年07月26日
公開日(公表日): 2003年02月13日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 幅広い波長領域での高い透明性を有し、基板への密着性、エッチング耐性や高い成膜性を併せ持つ新規な重合性単量体、およびそれを用いた高分子化合物、さらにはその高分子化合物をコーティングした反射防止材料またはレジスト材料の提供。【解決手段】 式(1)に示すビシクロヘプチル基をもつ新規な含フッ素アクリレート誘導体およびそれらの単量体を用いた高分子化合物、さらにその高分子化合物を用いた反射防止材料またはレジスト材料。(式中、Rはフッ素原子あるいは炭素数1〜10のフッ化炭化水素基を表す。)
請求項(抜粋):
一般式(1)【化1】(式中、Rはフッ素原子あるいは炭素数1〜10のフッ化炭化水素基を表す。)で表される含フッ素アクリレート誘導体。
IPC (4件):
C08F 20/22
, C07C 67/04
, C07C 69/653
, G03F 7/039 601
FI (4件):
C08F 20/22
, C07C 67/04
, C07C 69/653
, G03F 7/039 601
Fターム (42件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA09
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB08
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025FA17
, 4H006AA01
, 4H006AA02
, 4H006AA03
, 4H006AB46
, 4H006AC48
, 4H006BJ30
, 4H006BM10
, 4H006BM71
, 4H006KA11
, 4J100AJ09Q
, 4J100AL03Q
, 4J100AL04Q
, 4J100AL05Q
, 4J100AL08Q
, 4J100AL09Q
, 4J100AL26P
, 4J100AM02Q
, 4J100AM15Q
, 4J100AM21Q
, 4J100BA05Q
, 4J100BA11Q
, 4J100BC04Q
, 4J100BC08P
, 4J100BC09Q
, 4J100CA01
, 4J100CA04
引用特許:
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