特許
J-GLOBAL ID：200903050386621430

試料中心を検出できる蛍光X線分析装置

発明者：
長谷川 清

長谷川 清 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072790
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339710
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 試料の中心を、X線強度分布から短時間で正確に検出する。【解決手段】 試料を設置されたXY平面において、第1に試料の仮中心の決定を行い、第2にX方向にスキャン測定を行い、第3にX方向の試料中心を算出し、第4にY方向にスキャン測定を行い、第5にY方向の試料中心を算出し、第6に試料中心座標決定によって、円形試料の中心検出を実現する蛍光X線分析装置。
請求項（抜粋）：
制御可能で少なくともXY平面上でのX座標とY座標を制御できる試料テーブルと、X線照射位置が確認可能な試料モニタ部と、X線発生部と、X線検出部と、情報入力及び表示を行う操作部と、装置全体を制御する装置制御部から構成される蛍光X線分析装置を用いて、試料テーブルに蛍光X線を検出可能な円形試料を設置し、第1に試料モニタ部を使って、円形試料の中心とX線照射位置とを大まかに位置合わせをして円形試料の仮中心を決定し、第2に仮中心を基準にして、X方向のスキャン範囲を円形試料の直径の2倍、スキャンピッチをX線ビームのX方向の照射幅と同一にするという条件で、X方向にスキャン測定を行って各点の蛍光X線強度を取得し、第3にX方向での測定で得られた蛍光X線強度とX座標を使用し、蛍光X線強度のX方向における重心位置を算出することで、試料中心X座標を決定し、第4に算出した試料中心X座標と仮中心のY座標を基準にして、Y方向のスキャン範囲を円形試料の直径の2倍、スキャンピッチをX線ビームのY方向の照射幅と同一にするという条件で、Y方向にスキャン測定を行って各点での蛍光X線強度を取得し、第5にY方向での測定で得られた蛍光X線強度とY座標とから、蛍光X線強度のY方向における重心位置を算出することで、試料中心Y座標を決定し、円形試料の中心を検出することができる蛍光X線分析装置。
IPC (3件)：
G01N 23/223 ,  H01L 21/66 ,  G01N 1/28
FI (4件)：
G01N 23/223 ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 1/28 W
引用特許：
審査官引用 (4件)
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