特許
J-GLOBAL ID：200903050389600124
洗浄方法とそれに用いる処理剤
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113728
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302574
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 過酸化水素水と硫酸の反応により発生するカロー酸の洗浄力を利用しての洗浄において過酸化水素水及び硫酸の消耗を少なくしつつ洗浄力を高く維持し、且つ被洗浄物体表面の微細部分もより完全に洗浄できるようにする。【構成】 ウェハ5を界面活性剤入り過酸化水素水14で処理し、その後、硫酸15で処理する。
請求項（抜粋）：
被処理物体の表面の界面活性剤が添加された過酸化水素水での処理と、上記被処理物体の表面の硫酸での処理とをいずれか一方を先に他方を後にして上記被処理物体の表面で過酸化水素と硫酸が反応してカロー酸が生成されるように連続的に行うことを特徴とする洗浄方法
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, C11D 7/08
, C11D 7/18
