特許
J-GLOBAL ID:200903050398704730

焦電素子の感度測定装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-326078
公開番号(公開出願番号):特開2002-131127
出願日: 2000年10月25日
公開日(公表日): 2002年05月09日
要約:
【要約】【課題】 環境変化等に応じて外部ノイズが変化しても、正確に焦電素子の電圧感度を測定する。【解決手段】 被測定対象である焦電素子1に向かって赤外線光101を照射する光源11と、焦電素子1で生成される出力信号を検出する信号検出部5と、焦電素子1に照射する赤外線光101の光量を焦電素子1がセンサとして使用されるときの赤外線光の光量よりも大きくし、信号検出部5で検出した出力信号のS/N比が所定以上となる赤外線光101の光量を決定する測定光量決定部61と、測定光量決定部61で決定された赤外線光101の光量で照射するように上記光源を制御する照射赤外線量制御部7と、信号検出部5で検出した出力信号に基づいて、焦電素子1の感度を測定する感度測定部62とを備える。
請求項(抜粋):
被測定対象である焦電素子に向かって赤外線光を照射する光源と、上記焦電素子で生成される出力信号を検出する信号検出手段と、上記焦電素子に照射する赤外線光の光量を上記焦電素子がセンサとして使用されるときの赤外線光の光量よりも大きくし、上記信号検出手段で検出した出力信号のS/N比が所定以上となる赤外線光の光量を決定する測定光量決定手段と、上記測定光量決定手段で決定された赤外線光の光量で照射するように上記光源を制御する照射赤外線量制御手段と、上記信号検出手段で検出した出力信号に基づいて、上記焦電素子の感度を測定する感度測定手段とを備えることを特徴とする焦電素子の感度測定装置。
IPC (3件):
G01J 1/42 ,  G01J 1/06 ,  G01J 5/14
FI (3件):
G01J 1/42 B ,  G01J 1/06 A ,  G01J 5/14
Fターム (36件):
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB26 ,  2G065BA01 ,  2G065BA08 ,  2G065BA13 ,  2G065BB20 ,  2G065BB21 ,  2G065BB37 ,  2G065BC03 ,  2G065BC14 ,  2G065BC16 ,  2G065BC21 ,  2G065BC22 ,  2G065BC23 ,  2G065CA01 ,  2G065CA12 ,  2G065CA15 ,  2G065CA21 ,  2G065DA01 ,  2G065DA02 ,  2G065DA20 ,  2G066AA01 ,  2G066AC13 ,  2G066BA01 ,  2G066BA31 ,  2G066BA34 ,  2G066BA41 ,  2G066BA51 ,  2G066BB01 ,  2G066BB07 ,  2G066BB09 ,  2G066BB11 ,  2G066CA08 ,  2G066CA20 ,  2G066CB01
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭57-186128
  • 特開昭61-076967
  • 半導体エネルギー検出器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-280793   出願人:浜松ホトニクス株式会社
全件表示

前のページに戻る