特許
J-GLOBAL ID:200903050399329097

微細パターン並びにその製造方法、及び微細パターンを用いた、発光素子、光学デバイス、電子デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田中 政浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-342483
公開番号(公開出願番号):特開2003-151766
出願日: 2001年11月07日
公開日(公表日): 2003年05月23日
要約:
【要約】【課題】 種々のデバイスに使用可能な微細パターン、その製造方法、及びその製造装置を提供する。【解決手段】 2つの物体を接するように互いに密着させ、その間隙に溶液を満たし、物体を移動させながら気液界面を生じさせ、該溶液から溶媒を蒸発させることにより製造される微細パターン。
請求項(抜粋):
2つの物体を接するように互いに密着させ、その間隙に溶液を満たし、物体を移動させながら気液界面を生じさせ、該溶液から溶媒を蒸発させることにより製造される微細パターン。
IPC (4件):
H05B 33/10 ,  B01J 19/00 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22
FI (5件):
H05B 33/10 ,  B01J 19/00 K ,  H05B 33/14 B ,  H05B 33/22 B ,  H05B 33/22 D
Fターム (9件):
3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BB02 ,  4G075BD13 ,  4G075CA32 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21
引用特許:
審査官引用 (5件)
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