特許
J-GLOBAL ID:200903050399329097
微細パターン並びにその製造方法、及び微細パターンを用いた、発光素子、光学デバイス、電子デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田中 政浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-342483
公開番号(公開出願番号):特開2003-151766
出願日: 2001年11月07日
公開日(公表日): 2003年05月23日
要約:
【要約】【課題】 種々のデバイスに使用可能な微細パターン、その製造方法、及びその製造装置を提供する。【解決手段】 2つの物体を接するように互いに密着させ、その間隙に溶液を満たし、物体を移動させながら気液界面を生じさせ、該溶液から溶媒を蒸発させることにより製造される微細パターン。
請求項(抜粋):
2つの物体を接するように互いに密着させ、その間隙に溶液を満たし、物体を移動させながら気液界面を生じさせ、該溶液から溶媒を蒸発させることにより製造される微細パターン。
IPC (4件):
H05B 33/10
, B01J 19/00
, H05B 33/14
, H05B 33/22
FI (5件):
H05B 33/10
, B01J 19/00 K
, H05B 33/14 B
, H05B 33/22 B
, H05B 33/22 D
Fターム (9件):
3K007DB03
, 3K007FA01
, 4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BB02
, 4G075BD13
, 4G075CA32
, 4G075DA02
, 4G075EC21
引用特許:
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