半導体製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸久子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054481
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252177
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】従来の半導体製造装置の装置パラメータ変更時のシステム再起動時間の浪費に関わる問題点を解決し、例えば装置の据え付け時や事前のセットアップ、およびユーザにおけるプロセス評価時間の短縮を実現できる半導体装置を提供する。【解決手段】ハードウエアに依存する固有のパラメータの設定変更時、装置パラメータ115において、システムの再起動が必要な装置パラメータのファイル群11とシステムの再起動が不要な装置パラメータのファイル群12とに分け、オペレータが前記表示内容を確認した後、所望の段階で前記夫々のパラメータの変更を行うようにする。

請求項（抜粋）：

ハードウエアに依存する固有のパラメータの設定変更時、システム再起動を必要とするパラメータと、システム再起動不要のパラメータとをそれぞれ一覧表示し、オペレータが前記表示内容を確認した後、所望の段階で前記夫々のパラメータの変更を行うようにしたことを特徴とする半導体製造装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-139683 出願人：キヤノン株式会社
稼働状況監視装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-058133 出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社

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