特許

J-GLOBAL ID：200903050405972126

インプリント・リソグラフィ

発明者： イヴォンヌ ヴェンデラ クルイト - シュテゲマン ,  アレクセイ ユリーフィチ コレスニーチェンコ ,  エリック ロエロフ ロープシュトラ ,  ヨハン フレデリック ダイクスマン ,  ヘルマー ファン サンテン ,  サンデル フレデリック、ヴイシュテル
出願人/特許権者： エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  森 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-161794
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352121
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】インプリント・リソグラフィ装置を提供すること。【解決手段】インプリント・テンプレート又はインプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレート・ホルダと、基板を受けるように構成された基板テーブルとを有し、さらに、基板テーブル及びインプリント・テンプレート又はテンプレート・ホルダと共に、周囲の領域から実質的に密閉された密閉空間を形成するように構成された壁を備えたリソグラフィ装置が開示される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

インプリント・テンプレート又はインプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレート・ホルダと、基板を受け取るように構成された基板テーブルとを備え、前記基板テーブル及び前記インプリント・テンプレート又は前記テンプレート・ホルダと共に、周囲の領域から実質的に密閉された密閉空間を形成するように構成された壁をさらに備えたリソグラフィ装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 502D

Fターム (1件)：

5F046BA10

引用特許：

出願人引用 (3件)

• インプリント製造方法、その製造装置、磁気記録媒体の製造方法、及びその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-392285   出願人：日立マクセル株式会社
• 特開平2-289311
  
• 断熱スタンパの製造方法及び製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-045756   出願人：株式会社リコー

審査官引用 (3件)

• インプリント製造方法、その製造装置、磁気記録媒体の製造方法、及びその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-392285   出願人：日立マクセル株式会社
• 特開平2-289311
  
• 断熱スタンパの製造方法及び製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-045756   出願人：株式会社リコー