窒化珪素質焼結体及びそれを用いたセラミックヒ-タ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-369735
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193241
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】焼結体の原料粉末の分解、炭化が抑えられ、表層まで十分に緻密化された窒化珪素質焼結体と、それを用いたセラミックヒータを提供する。【解決手段】ホットプレス法による焼結において、離型剤に窒化珪素質焼結体の原料粉末と同様の組成であって、その組成を構成する粉末の全て又は一部の成分を含有させることによって、成形型近傍の原料粉末の分解や炭化等が抑えられ、表層まで十分に緻密化された窒化珪素質焼結体とすることができる。また、従来必要であった緻密化が阻害された表層を研磨除去する工程が必要なく、工程を短縮することができる。更に、黒鉛製の成形型を用いた場合であっても、その表層まで十分に緻密化した窒化珪素質焼結体とすることができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素粉末及び焼結助剤粉末のうちの少なくとも一方を含む離型剤が塗布された成形型を用い、ホットプレス法によって製造されることを特徴とする窒化珪素質焼結体。

IPC (4件)：

F23Q 7/00 , C04B 35/584 , C04B 35/64 , C04B 35/645

FI (4件)：

F23Q 7/00 V , C04B 35/58 102 T , C04B 35/64 K , C04B 35/64 N

Fターム (15件)：

4G001BA03 , 4G001BA04 , 4G001BA08 , 4G001BA09 , 4G001BA24 , 4G001BA32 , 4G001BB03 , 4G001BB04 , 4G001BB08 , 4G001BB09 , 4G001BB24 , 4G001BB32 , 4G001BC42 , 4G001BC62 , 4G001BD21

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭56-042612
特開昭47-012789
特開昭55-116673

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