マイクロレンズの製造装置及び製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-090018
公開番号（公開出願番号）：特開2000-280367
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】マイクロレンズの製造において、従来行われていたマスク形成、マスク除去、洗浄処理などを不要にすることによって製造時の工数を低減し、また、効率的な製造方法を実現できる装置構成によって、生産性を向上させるとともに製造コストを低減する。【解決手段】最初に基板20に予め表面処理を施し(表面処理工程a)、次に、基板20の表面20a上に吐出ヘッド21によって未硬化樹脂からなる液滴22を滴下させる(液滴付着工程b)。このとき、基板20の表面20a上には、表面20aに対する未硬化樹脂の濡れ性や未硬化樹脂の表面張力によって凸曲面状に盛り上がるように形成された表面を備えた液滴22が付着する。そして、基板20の表面20a上に配列された液滴22を硬化させ、マイクロレンズ23を形成する(樹脂硬化工程c)。

請求項（抜粋）：

未硬化樹脂の液滴を基板上に付着させ、付着した前記樹脂を硬化させることによりマイクロレンズを形成するための、少なくとも前記液滴を前記基板上に付着させるマイクロレンズの製造装置であって、前記液滴を下方に向けて吐出可能な吐出ヘッドと、該吐出ヘッドの下方に対向配置された基板支持体と、前記基板支持体を略水平な第1方向に移動可能に構成するとともに該第1方向に沿った複数の位置に位置決め可能に構成する第1移動手段と、前記吐出ヘッドを前記第1方向と交差する略水平な第2方向に移動可能に構成するとともに該第2方向に沿った複数の位置に位置決め可能に構成する第2移動手段とを備えていることを特徴とするマイクロレンズの製造装置。

IPC (2件)：

B29D 11/00 , G02B 3/00

FI (2件)：

B29D 11/00 , G02B 3/00 A

Fターム (12件)：

4F213AA44 , 4F213AH74 , 4F213AP06 , 4F213AP14 , 4F213AR07 , 4F213AR15 , 4F213WA02 , 4F213WA31 , 4F213WA97 , 4F213WC02 , 4F213WF01 , 4F213WF29

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-178443
特開平2-165932
特開平2-165933

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