屈折型マイクロレンズの作製方法およびその装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-358936
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180605
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】光半導体素子と光伝送媒体との高効率な光結合を実現するための屈折型マイクロレンズの作製方法およびその装置を提供する。【解決手段】透光性で硬化処理が可能な液体を、所望の微小量ずつ射出できる射出ヘッドと、射出ヘッドを高精度に位置送り、位置決めできる送り機構と、射出ヘッドの射出方向に対向して設けられたステージと、ステージ上に搭載されたマイクロレンズを形成する基板を少なくとも有するマイクロレンズの作製装置を用い、透光性で硬化処理が可能な液体を、微小量で定量、もしくは量を変化させて、基板上に1次元または2次元アレイ状、もしくは任意の位置に、単数もしくは複数個のマイクロレンズとなる微小液体を形成する工程と、基板上に形成した微小液体を硬化処理して固体状の凸形状のマイクロレンズを形成する工程とを含む屈折型マイクロレンズの作製方法とする。

請求項（抜粋）：

微小な凸形状をした屈折型マイクロレンズの作製方法であって、透光性で、かつ硬化処理が可能な液体を、所望の微小量ずつ射出できる射出ヘッドと、該射出ヘッドを高精度に位置送り、位置決めできる送り機構と、上記射出ヘッドの射出方向に対向して設けられたステージと、該ステージ上に搭載されたマイクロレンズを形成する基板を少なくとも有するマイクロレンズの作製装置を用い、上記射出ヘッドより、上記透光性で硬化処理が可能な液体を、微小量で定量、もしくは量を変化させて、上記マイクロレンズを形成する基板上に、1次元または2次元アレイ状、もしくは任意の位置に、単数もしくは複数個のマイクロレンズとなる微小液体を形成する工程と、次いで、上記基板上に形成した微小液体に対して硬化処理を施すことにより、所望の固体状の凸形状マイクロレンズを形成する工程とを含むことを特徴とする屈折型マイクロレンズの作製方法。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-178443
光学素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-309122 出願人：キヤノン株式会社
光学素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-153191 出願人：キヤノン株式会社

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