特許
J-GLOBAL ID:200903050441624452
接触熱抵抗の測定法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中前 富士男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-287198
公開番号(公開出願番号):特開2001-108641
出願日: 1999年10月07日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】 微小試料でも広い温度範囲における接触熱抵抗を容易に測定できる接触熱抵抗の測定法を提供する。【解決手段】 特定層の熱抵抗が不明で、その他の層の熱拡散率、体積熱容量及び厚さが既知の多層材中の特定層の接触熱抵抗の測定法において、特定層の表面にレーザパルス光で照射して裏面温度変化を測定する手段を有するレーザフラッシュ装置10を用いて測定した試料裏面温度データを求め、試料裏面温度データから多層材裏面温度理論式にて2乗偏差を構成し、2乗偏差を最小とする特定層の熱拡散率、体積熱容量及びビオー数を求め、熱拡散率、体積熱容量と特定層の厚さより特定層の熱抵抗を求める。
請求項(抜粋):
特定層の熱抵抗が不明で、その他の層の熱拡散率、体積熱容量及び厚さが既知の多層材中の前記特定層の接触熱抵抗の測定法において、前記特定層の表面にレーザパルス光で照射して裏面温度変化を測定する手段を有するレーザフラッシュ装置を用いて測定した試料裏面温度データを求め、該試料裏面温度データから多層材裏面温度理論式にて2乗偏差を構成し、該2乗偏差を最小とする前記特定層の熱拡散率、体積熱容量及びビオー数を求め、該熱拡散率、体積熱容量と前記特定層の厚さより前記特定層の熱抵抗を求めることを特徴とする熱抵抗測定方法。
Fターム (12件):
2G040AB05
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040BA26
, 2G040CA02
, 2G040DA02
, 2G040DA13
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC02
, 2G040HA16
, 2G040ZA05
引用特許:
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