特許

J-GLOBAL ID：200903050467469862

圧電薄膜の伝達インピーダンス評価方法

発明者： 中尾 庄三
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-012297
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201006
出願日： 2005年01月20日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】センサ用の音叉に用いられる圧電体に関し、ウエハ状態で特性を評価することができないという課題を解決し、ウエハ状態で特性を評価することが可能な圧電薄膜の伝達インピーダンス評価方法を提供することを目的とする。【解決手段】圧電薄膜の電気特性であるP(分極)-E(電界)ヒステリシス特性を測定し、このP-Eヒステリシス特性から比誘電率および残留分極量を算出することにより被測定体の伝達インピーダンスを求める方法により、ウエハ状態で圧電薄膜の伝達インピーダンスを評価することができるようになるため、生産効率の向上とトータルコストダウンの低減を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電薄膜の電気特性であるP(分極)-E(電界)ヒステリシス特性を測定し、このP-Eヒステリシス特性から比誘電率および残留分極量を求め、これにより被測定体の特性インピーダンスを算出するようにした圧電薄膜の伝達インピーダンス評価方法。

IPC (1件)：

G01R 29/22

FI (1件)：

G01R29/22 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電定数測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-142031   出願人：三菱電機株式会社