特許
J-GLOBAL ID:200903050504235508

電界効果トランジスタ及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土屋 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-026270
公開番号(公開出願番号):特開平8-204191
出願日: 1995年01月20日
公開日(公表日): 1996年08月09日
要約:
【要約】【目的】 チャネル領域で誘起されるキャリア数を多くして、電流駆動能力及び相互コンダクタンスを高める。【構成】 Si層21がトランジスタの活性層になっており、ソース/ドレイン領域である不純物層26a、26b同士の間のチャネル領域を囲む4つの面に、ゲート電極としての多結晶Si膜23a〜23dが形成されている。このため、単一ゲート構造や二重ゲート構造に比べて、チャネル領域で誘起されるキャリア数が多い。
請求項(抜粋):
チャネル領域を囲む4つの面のうちの少なくとも3つの面にゲート電極が設けられていることを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (2件):
H01L 29/78 ,  H01L 21/336
FI (4件):
H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 X ,  H01L 29/78 301 Y ,  H01L 29/78 301 P
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平3-250770
  • 特開昭60-017964
  • 特開平3-245573
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